Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Дружинин, А. А.
    Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров [Текст] / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 50-53.

- Анотація:

Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням електронних розрядів. Електронні лампи. Термокатодні вакуумні лампи
  • УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт