Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Белоусов, И. В.
    Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке [Текст] / И.В. Белоусов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 54-57.

- Анотація:

Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Виробництво інтегральних мікросхем та мікроелектронних приладів



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт