Рассматривается моделирование процесса образования упорядоченной структуры точечных дефектов в твердом теле под действием ускоренных моноэнергетических электронов. Предлагается использовать полученную модель для математического описания процессов формирования упорядоченных структур дефектов в щелочно-галоидных кристаллах.