Швец, В. А.     Определение параметров диэлектрических слоев, имплантированных ионами кремния, с помощью спектральной эллипсометрии [Текст] / Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова // Автометрия  : научно-технический журнал / РАН, Сиб. отд-ние; Ин-т автоматики и телеметрии. — С. 71-80.