| | Буданов, В. Е. Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок [Текст] / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радиофизика и электроника : сб. науч. тр. / НАН Украины, Ин-т радиофизики и электроники им. А. Я. Усикова ; редкол. : Яковенко В. М. (гл. ред.) и др. — Харьков : ИРЭ НАН Украины, 2005. — С. 610-614. |
| | |
|