|
| | Тимошенков, С. П.
Разработка технологии получения микромеханического акселерометра [Текст] / Московский институт электронной техники // Датчики и системы : научно-технический и производственный журнал / Инт- проблем управления РАН, МГ ИЭМ, Ассоциация "МВТК". — М., 2007. — С. 22-26. | |
| | |
|
