|
Автор: Белянин А.Ф., Паль А.Ф., Самойлович М.И., Суетин Н.В., Дзбановский Н.Н., Митин В.С., Пащенко П.В., Тимофеев М.А.
-
Анотація:
Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
-
УДК // Нанотехнологія
| 