Зведений каталог бібліотек Харкова
Калиниченко, А. И. Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении [Текст] / А.И. Калиниченко, С.С. Перепелкин, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники / НАНУ; Нац. научный центр "ХФТИ". — Х., 2007. — С. 116-119.
- Анотація:
Предложена модернизированная теория формирования напряжений сжатия в тонких пленках, осаждаемых при одновременном облучении потоком низкоэнергетических ионов.
- Є складовою частиною документа:
Вопросы атомной науки и техники [Текст] / НАНУ; Нац. научный центр "ХФТИ" // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика плазмы - Х. — Х., 2007.
- Теми документа
