| | Наумов, В. В. Компьютерная система автоматического контроля толщины напыляемых тонких пленок [Текст] / В.В. Наумов, О.А. Гребенщиков, В.Б. Залесский, В.М. Кравченко // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика : Научно-технический и производственный журнал. — М. : Научтехлитиздат, 2007. — С. 53-55. |
| | |
|