|
| | Белозубов, Е. М.
Уменьшение влияния термоэлектрических явлений в МЭМС-структурах на выходной сигнал тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Е.М. Белозубов, Н.Е. Белозубова, В.А. Васильев // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика : Научно-технический и производственный журнал. — М. : Научтехлитиздат, 2008. — С. 27-30. | |
| | |
|
