Зведений каталог бібліотек Харкова
Бровин, Д. С. Одномерный подход к моделированию Siemens-процесс [Текст] / Д.С. Бровин, А.А. Ловцюс, С.Н. Колгатин // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2007. — С. 6-10.
- Анотація:
Siemens-процесс остается основным методом получения "солнечного" и полуппроводникового кремния. Для оптимизации этого процесса предложено использовать численное моделирование.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2007.
- Теми документа
