|
Автор: Анфимов И.М., Бердников В.С., Выговская Е.А., Кобелева С.П., Смирнов А.А., Осипов Ю.В., Торопова О.В., Мурашев В.Н.
-
Анотація:
Проанализированы карты распределения уделного электросопротивления 150-миллиметровых пластин монокристаллического кремния, выращенного методом Чохральского. Выявлено два типа неоднородности распределения - азимутального и радиального характера.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
| 