Зведений каталог бібліотек Харкова
Скупов, А. В. Особенности моделирования диффузионных процессов в гетерокомпозициях "кремний - на- сапфире" [Текст] / А.В. Скупов, В.Д. Скупов, С.В. Оболенский // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2007. — С. 45-49.
- Анотація:
Проведено моделирование диффузионного перераспределения атомов бора и фосфора,веденных ионной имплантацией с энергиями 30 и 60 кэВ, в гетерокомпозиции "кремний-на-сапфире" (КНС) с учетом влияния структурных дефектов и полей упругих напряжений.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2007.
- Теми документа
