|
Автор: Чигир С.Н., Силаев И.В., Кожитов Л.В., Блиев А.П., Кондратенко Т.Т., Казимиров Н.И., Сорокин С.Л.
-
Анотація:
Исследовано влияние тепловых условий выращивания трубчатых монокристаллов кремния методом Чохральскогг на характеристики их структуры. Получены монокристаллы кремния в виде тонкостенных полых цилиндров, пригодные для изготовления на их основе силовых полупроводниковых приборов нового поколения.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
-
УДК // Зародження, ріст та розчинення кристалів
| 