Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Якимов, Е. Б.
    Исследование кремния с примесью цинка методом наведенного тока в растровом электронном микроскопе [Текст] / Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2007. — С. 71-73.


- Анотація:

Методом наведенного тока в растровом электронном микроскопе исследованы образцы кремния n-типа проводимости, легированного фосфором и компенсированного цинком. Установлено, что структура образца неоднородна:наблюдаются крупномасштабные дефекты размером -10 мкм, обладающие повышенной скоростью рекомбинации неравновесных носителей заряда.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
  • УДК // Ядерна техніка. Електротехніка. Машинобудування в цілому



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт