Исследован фоторефрактивный эффект в качестве основы для создания нового метода бесконтактного комплексного картирования электрофизических и термических свойств кремниевых структур. Показана возможность трехмерного локального измерения подвижности и времени жизни носителей заряда, а также коэффициента температуропроводности в одном технологическом цикле в любом месте объема образца.
