Зведений каталог бібліотек Харкова
Критская, Т. В. Исследование процессов легирования бездислокационных монокристаллов кремния, выращенных по методу Чохральского [Текст] / Запорожская государственная инженерная академия, Украина // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2008. — С. 4-8.
- Анотація:
Рассмотрено взаимное влияние электрических активных бора, фосфора, сурьмы и фоновых примесей кислорода и углерода на процессы , происходящие при выращивании бездислокационных монокристаллов кремния, и их свойства.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2008.
- Теми документа
