|
Автор: Анфимов И.М., Бердников В.С., Борзых И.В., Калинин В.В., Кобелева С.П., Осипов Ю.В., Флицлер К.Б.
-
Анотація:
Четырехзондовым методом измерено распределение удельного электрического сопротивления монокристаллов кремния диаметром 64-105 мм, выращенных методом бестигельной зонной плавки с индуктором типа "игольное ушко".
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
| 