Зведений каталог бібліотек Харкова
Александров, О. В. Влияние германия и гадолиния на диффузию бора в кремний из примесно-силикатного источника [Текст] / Институт химии силикатов им.И.В.Гребенщикова РАН // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2008. — С. 22-26.
- Анотація:
Методом вторичной ионной масс-спектрометрии изучена совместная диффузия бора с германием и гадолинием в кремний из пленочного прмесно-силикатного источника, приготовленного на основе тетраэтоксисилана.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2008.
- Теми документа
