|
Автор: Ладугин М.А., Сухарев А.В., Падалица А.А., Булаев П.В., Мармалюк А.А.
-
Анотація:
Изучена система триэтилгаллий - арсин в температурном диапазоне 610-770 С с использованием тетрахлорида углерода в качестве лигатуры. Показано влияние технологических параметров на процесс легирования.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
-
УДК // Неорганічна хімія
| 