Зведений каталог бібліотек Харкова
Балашев, В. В. Соосаждение Fe и Si на поверхность SiO2/Si(001) [Текст] / Институт автоматики и процессов управления // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2008. — С. 41-47.
- Анотація:
Изучено соосаждение Fe и Si ( в соотношении 1:2) на холодную и горячую подложку Si(001), покрытую тонким слоем SiO2, и влияние последующего отжига.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2008.
- Теми документа
