|
Автор: Асмолова Н.Ф., Качемцев А.Н., Киселев В.К., Латышева Н.Д., Скупов В.Д.
-
Анотація:
Представлены результаты исследований влияния импульсного облучения стркутур "кремний-на-изоляторе" рентгеновскими лучами с "допороговыми" энергиями на микрорельеф поверхности приборных слоев.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
| 