|
Автор: Барк В.Г., Дюжиков И.Н., Жигалина О.М., Покалянин В.И., Скрылева Е.А.
-
Анотація:
Светоизлучающие композитные слои SiOxNy(Si), содержащие кремниевые наноструктуры в матрице SiOxNy,получены ионно-плазменным распылением Si-мишени в атмосфере N2 и O2 с последующим отжигом.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
| 