|
Автор: Гудименко О.Й., Кладько В.П., Мельник В.П., Оліх Я.М., Попов В.Г., Романюк Б.Н., Слободян М.В., Когутюк П.П.
-
Анотація:
Вивчено особливості трансформації системи точкових дефектів і пружних деформацій у приповерхневих шарах кремнію, підданих імплантації іонами В+ і Ав+ при одночасній дії ультразвуку (УЗ). Як метод вивчення структурної досконалості імплантованих структур використано багатокристальну рентгенівську дифрактометрію. Методом масспектрометрії вторинних постіонізованих нейтральних частинок досліджено товщинні розподіли імплантованих домішок після термічного відпалу зразків і вплив на них УЗ-обробки.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
| 