Зведений каталог бібліотек Харкова
Кіпріч, В. І. Обчислення концентраційних профілів при осадженні плівок з низькоенергетичного іонного пучка [Текст] / Запорізький національний технічний університет // . — С. 152-157.
- Анотація:
На основі дифузійного наближення опису перенесення речовини під дією іонного пучка розроблено математичну модель процесу напилення тонких плівок.
- Є складовою частиною документа:
Український фізичний журнал [Текст] // Український фізичний журнал - К. : Інститут фізики НАН України. — 2008.
- Теми документа
