Рассмотрены преобразования физических параметров межсоединений сверхбольших интегральных схем (СБИС) в различных вариантах масштабирования; установлены на основе анализа емкостных и передаточных характеристик установлены закономерности поведения временных задержек, плотности токов и энергии диссипации при уменьшении размеров конструкций; показаны на численном примере, характерном для субмикронных технологий, задержки и ограничения сетей проводников глобальных и локальных моделей соединений; представлены условия увеличения быстродействия при сохранении надежности нанотранзисторных МОП СБИС.
