Рассматривается метод контроля дистанционирующих решеток (ДР) на базе дифракционных оптических элементов. Изложены вопросы синтеза дифракционных элементов, расчета проецирующей оптики, юстировки и калибровки измерительной системы. Описаны методы обработки изображений, полученных на различных конструктивных элементах ДР.