Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Швец, В. А.
    Влияние остаточного напряжения в оптических окнах на точность эллипсометрических измерений [Текст] / Институт физики полупроводников им. А.В.Ржанова СО РАН, г.Новосибирск // Автометрия  : научно-технический журнал / РАН, Сиб. отд-ние; Ин-т автоматики и телеметрии. — С. 119-126.


- Анотація:

Рассмотрено влияние остаточного двулучепреломления в оптических окнах на результаты эллипсометрических измерений. Оптические свойства окон описываются комплексным относительным коэффициентом пропускания. В предположении слабой анизотропии окон в линейном приближении рассчитаны поправки к эллипсометрическим параметрам, которые возникают при измерениях на эллипсометрах статистического типа.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Поляризація. Подвійне заломлення. Дисперсія в анізотропних середовищах



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт