| | Швец, В. А. Влияние остаточного напряжения в оптических окнах на точность эллипсометрических измерений [Текст] / Институт физики полупроводников им. А.В.Ржанова СО РАН, г.Новосибирск // Автометрия : научно-технический журнал / РАН, Сиб. отд-ние; Ин-т автоматики и телеметрии. — С. 119-126. |
| | |
|