Предлагаемая работа направлена на уточнение известочной модели MEMS-микросенсора в указанном отношении. В силу того, что принцип действия рассматриваемого прибора основан на изменении величины диэлектрической проницаемости полимерного слоя между обкладками микроконденсатора при наличии распознаваемого вещества в атмосфере, исследован вопрос о зависимости этой величины от влажности воздуха. Проводится сопоставление результатов моделирования экспериментальными данными, которое подтверждает целесообразность выполненной модификации модели сенсора
