Рассматривается идеология проектирования конструктивной элементной базы вакуумного технологического оборудования с использованием принципа управляемой упругой деформации, при которой эффект функционирования внутрикамерных схем создается в результате внутреннего трения, что полностью исключает наличие трения движения как источника привносимой дефектности.
