Структурно-деформационная неоднородность поверхностного слоя оценивается методом царапания с регистрацией изменения тангенциальной силы сопротивления движению индентора. При глубинах внедрения индентора Виккерса, соизмеримых с показателями шероховатости поверхности, определяется функция, описывающая неоднородность структурно-деформационных свойств материала вдоль трассы сканирования без влияния рельефа поверхности.