Зведений каталог бібліотек Харкова
Турцевич, А. С. Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов [Текст] / Завод "Транзистор", г.Минск // Технология и конструирование в электронной аппаратуре : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 35-41.
- Анотація:
Исследовано влияние условий осаждения на структуру и электрофизические свойства пленок поликрстиллического кремния, легированного кислородом. Результаты использованы при изготовлении изделий силовой электроники.
- Є складовою частиною документа:
Технология и конструирование в электронной аппаратуре [Текст] : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — Одесса.
- Теми документа