Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Иванчиков, А. Э.
    Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния [Текст] / Завод полупроводниковых приборов, г.Минск, Республика Беларусь // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 42-47.

- Анотація:

Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а также модель удаления этих дефектов в растворах химикатов.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Продукти хімічної промисловості
  • УДК // Хімічна завершальна обробка та обробка поверхні



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт