Шангереева, Б. А.     Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем [Текст] / Дагестанский государственый технический университет, г.Махачкала, Россия // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 54-56.