Представлен метод прямого измерения ширины линии на атомно-силовом микроскопе с использованием первой производной сигнала. Метод показал возможность прямого измерения размера верхнего основания трапециевидного выступа вплоть до 30 нм.

Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.

• УДК // Властивості та структура молекулярних систем
• УДК // Електронні ( катодні ) промені та пов'язана геометрична оптика
• УДК // Електронно- мікроскопічні методи дослідження/Электронно-микроскопические методы исследования/Electronic and microscopic methods of research