| | Зотов, С Особенности проектирования и изготовления чувствительного элемента микромеханического акселерометра [Текст] / С Зотов, В.В. Калугин, С.П. Тимошенков та ін. // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика : Научно-технический и производственный журнал. — М. : Научтехлитиздат, 2008. — С. 35-37. |
| | |
|