Зведений каталог бібліотек Харкова
Шиляев, П. А. Молекулярно-лучевое осаждение сверхтонких слоев кремния на сапфире [Текст] / Нижегородский государственный университет им.Н.И.Лобачевского // . — С. 61-65.
- Анотація:
Рассмотрено осаждение методом молекулярно-лучевой эпитаксии сверхтонких слоев кремния на сапфире. Показано, что на ранних стадиях образуются трехмерные островки трех типов: прямоугольные с правильной огранкой и "полусферические".
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2008.
- Теми документа
