Предложена комплексная модель, описывающая процессы образования кластеров в облаке пара продуктов лазерной абляции (ЛА) и их осаждения на плоской подложке при формировании тонкой пленки. Модель позволяет проводить мониторинг всех параметров процесса ЛА: температуры мишени, газодинамических параметров потока продуктов ЛА, параметров нанокластеров и характеристик напыляемой пленки. С использованием предложенной модели выполнено численное исследование задачи нанесения пленки атомов и кластеров ниобия методом ЛА в вакууме. Выполненные численные исследования позволяют установить общие закономерности между параметрами течения пара (включая параметры кластеров) и свойствами получаемых пленок.

Известия высших учебных заведений. Приборостроение. [Текст] / МО РФ, СПб ГУИТМО. — СПб.

• УДК // Рух газів та тіл в газах. Газовий потік/Течение газов и движение тел в газах/Gas flow and the movement of bodies in gases