Проанализировано влияние параметров растровых электронных микроскопов на точность измерения линейных размеров в микро-и нанотехнологиях. Определены погрешности, с которыми должны быть известны эти параметры для использования указанных микроскопов в данных технологиях

Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.

• УДК // Електронні ( катодні ) промені та пов'язана геометрична оптика