В статье рассмотрены системы комплексной очистки шестифтористой серы и фреонов до уровня примесей не более 0,0005%. Изучены поглощение высококипящих примесей в адсорберах и процессы окончательной очистки продуктов в насадочных ректификационных колоннах. Предложены экономичные контуры криогенного обеспечения аппаратов с использованием жидкого азота. Исследованы парокомпрессионные холодильные циклы, встроенные в технологический контур переработки высококипящих продуктов.