Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Кузьмин, А. В.
    Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок [Текст] / Харьковский национальный университет им.В.Н.Каразина, г.Харьков // Радиофизика и электроника : сб. науч. тр. / НАН Украины, Ин-т радиофизики и электроники им. А. Я. Усикова ; редкол. : Яковенко В. М. (гл. ред.) и др. — Харьков : ИРЭ НАН Украины, 2005. — С. 214-217.


- Анотація:

В данной работе рассмотрен метод измерения толщины нанесенной пленки и скорости ее напыления методом кварцевого датчика. Установлено, что при помощи резонансмного метода может быть осуществлен непрерывный контроль толщин тонких пленок в диапазоне 10-100 нм.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Кристалографія
  • УДК // Одержання тонких плівок



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт