Зведений каталог бібліотек Харкова
Вернер, В. Д. Исследование влияния модификации поверхности микрорезонаторов на их частотные свойства [Текст] / Московский государственный институт электронной техники // Известия вузов. Электроника. — 2008. — С. 55-61.
- Анотація:
Рассмотрено влияние гетерослоя на упругин постоянные и поверхностное натяжение в наноэлектромеханических системах. Проведено количественное сравнение этих эффектов на примере резонатора из кремния.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2008.
- Теми документа
