Описан газоразрядный источник ионов с полым катодом диаметром 700 и длиной 500 мм. В торцах полого катода напротив друг друга помещены два анода малой площади. Вдоль боковой стенки полого катода на расстоянии 250 мм от его центра и симметрично анодам расположен извлекающий электрод диаметром 420 мм, напротив него находится термокатод. Получен пучок ионов кислорода с плотностью тока до 0.2 мА/см2 и неравномерностью менее 12% на площади диаметром 420 мм и на расстоянии 200 мм от извлекающего электрода. Оптимальные рабочие параметры источника ионов при работе с кислородом составляют: ток разряда 0.8-1.2 А, рабочее давление (0.6-0.8) · 10-4 Торр, извлекающее напряжение до 400 В.
