|
Автор: Постников А.В., Косолапов И.Н., Куприянов А.Н., Амиров И.И., Магунов А.Н.
-
Анотація:
Обсуждаются устройство и характеристики автоматизированного измерителя температуры диэлектрических и полупроводниковых подложек в установках осаждения пленок и травления микроструктур. Температура измеряется методом лазерной интерференционной термометрии на длинах волн He-Ne-лазера 0.633 и 1.15 мкм. Достигнутое в системе отношение сигнал/шум 30 дБ обеспечивает чувствительность прибора к изменению температуры подложки на 0.01 K. Нагрев и остывание пластины автоматически распознаются и отображаются графическим интерфейсом в реальном времени. На монитор выводятся интерферограмма, регистрируемая при нагревании или остывании подложки, зависимость температуры от времени после зажигания разряда, температурная зависимость мощности, нагревающей подложку. Для кремниевых подложек толщиной 0.5 мм на длине волны 1.15 мкм диапазон измерений лежит в интервале от криогенных температур до 650 К.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Взаємодія плазми з поверхнею твердих тіл
-
УДК // Використання оптичних явищ
-
УДК // Температура. Температурні шкали. Вимірювання температури. Термометри. Регулювання температури
| 