В Институте ядерной физики СО РАН сооружается на основе ускорителя источник эпитепловых нейтронов, который может быть использован для проведения нейтронозахватной терапии рака в онкологической клинике. Одним из основных элементов установки является литиевая нейтроногенерирующая мишень, получаемая напылением лития на подложку мишени. С использованием масс-спектрометра вторичных ионов изучено влияние остаточного газа на состав литиевого слоя.