Разрешение туннельного микроскопа обусловлено точностью работы его системы управления и возможностью при интерпретации результатов измерения использовать детерминированные модели взаимодействия иглы с подложкой и работы системы управления. Случайные колебания основания микроскопа вносят возмущения в движение иглы и ограничивают возможности интерпретации измерений. В рассматриваемой работе дается оценка зависимости амплитуды колебаний иглы от амплитуды колебаний основания для некоторых моделей микроскопов. Показано, что помимо поступательных колебаний измерительного блока, вклад которых в ошибки измерений мал, на иглу передаются колебания, связанные с его раскачиванием в упругом подвесе. Для рассматриваемых приборов эти колебания оказываются существенными при разрешениях около 1 нм, что делает необходимым учет недетерминированных ошибок при интерпретации результатов сканирования с нанометровым разрешением.
