Зведений каталог бібліотек Харкова
Усанов, Д. А. Использование СВЧ_фотонных структур для измерения параметров нанометровых пленок [Текст] / Центральный НИИ измерительной аппаратуры, г.Саратов, Россия // Успехи современной радиоэлектроники. — 2008. — С. 80-88.
- Анотація:
Предложена и экспериментально реализована методика измерения толщины и электропроводности нанометровых металлических пленок в слоистых структурах с использованием частотной зависимости коэффициента отражения электромагнитной волны от исследуемой структуры.
- Є складовою частиною документа:
Успехи современной радиоэлектроники [Текст] // Успехи современной радиоэлектроники ( до 2003 г. "Зарубежная радиоэлектроника") - М. : Радиотехника. — 2008.
- Теми документа
