Применение высокоразрешающей рентгеновской рефрактометрии (ВРД) позволяет комплексно охарактеризовать исследуемые материаля с точкт зрения как структурных так и композиционных свойств слоев. Данный тип исследования чувствителен и к полупроводниковым слоям нанометрового размера.

Приборы [Текст] : научно-технический, производственный и справочный журнал // Приборы - М. : СОО "международное НТО приборостроителей и метрологов". — М. : СОО "международное НТО приборостроителей и метрологов", 2008.

• УДК // Метрологія. Вага та міри
• УДК // Нанотехнологія