Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Овчинников, В. А
    Исследование технологического процесса устранения прозрачных дефектов маскирующего покрытия фотошаблонов [Текст] / Московский государственный институт электронной техники // . — С. 11-17.


- Анотація:

Установлены закономерности изменения ширины линии осажденного материала в зависимости от скорости перемещения координатного стола установкии энергии лазерного излучения. Определены технологические режимы процесса устранения прозрачных дефектов на фотошаблоне.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт