Зведений каталог бібліотек Харкова
Соколов, Е. Б. Получение пленок нитрида бора методом ВЧ-магнетронного распыления [Текст] / Московский государственный институт электронной техники (технический университет) // . — С. 84-86.
- Анотація:
Цель работы - разработка технологического процесса получения пленок нитрида бора для применения в качестве защитных покрытий различных конструкций, в том числе для изготовления многослойных пленочных структур.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2008.
- Теми документа
